北京汉达森机械技术有限公司-郜赛楠

 

公司介绍：

 

FuG Elektronik GmbH 和 Guth High Voltage GmbH 现在是 XP Power 的一部分，XP Power 是世界领先的电子行业关键电源解决方案开发商和制造商之一。

 

XP Power致力于成为电源解决方案的领先供应商，包括AC-DC电源和DC-DC转换器，高压电源 和射频电源。

 

射频功率系统

大批量、经生产验证的射频解决方案

无论是过程稳定性还是易于集成，对高性能电源解决方案的要求往往都很复杂。我们的射频专业知识受到客户的信任，能够在我们经济高效的解决方案中提供最高水平的可靠性和可重复性。

 

我们的射频功率能力

当涉及到关键电力系统时，故障不是一种选择，

这就是XP Power致力于在其射频电源解决方案中提供最佳可靠性的原因，其控制和监视器使您能够密切关注性能。

我们拥有易于集成的射频发生器，具有最新的通信协议和先进的脉冲功能。结合我们领先的阻抗匹配网络，我们帮助客户解决他们最高价值的问题。

 

增强了工艺重复性和最终使用寿命值

我们提供广泛的射频等离子体发生器和阻抗匹配网络，可根据您的独特应用进行配置。从半导体加工到工业应用，我们的产品都能满足您独特的工艺要求。

XP Power射频发生器采用新的稳定技术设计，可在工艺条件发生变化时消除射频振荡。这将带来更可重复的逐运行供电。通过消除不稳定性，这些组件也可以在更安全的状态下运行，从而提高射频功率传输系统的寿命。

 

产品：

 

①：CDX系列

CDX系列是业界领先的双射频等离子体发生器。这种独特的设计是XP射频放大器40多年工程知识的结晶，将两种不同的射频输出集成到一个紧凑、高性能的封装中。在可维护性和集成性方面，CDX发生器是最具成本效益和灵活性的射频解决方案，旨在满足未来市场需求。

 

特点和优点

 

可配置400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz或60MHz的任意两个固定频率

每输出功率高达1.5kW

每个独立通道提供可靠且可重复的射频功率

灵活的平台支持广泛的应用程序

拥有成本低

 

②：CH系列

CH系列射频发生器旨在优化占地面积效率，将我们的XP功率射频放大器和开关模式直流技术结合到一个紧凑的半机架封装中，具有高水平的功率传输可靠性和准确性。模块化设计使CH生成器可配置用于任何客户平台。

 

特点和优点

 

最宽的可选择固定频率：400kHz至60MHz

功率范围从50W到1.5kW

频率捷变调谐和高级脉冲

DeviceNet、RS232和EtherCAT

灵活的设计，便于工艺工具集成

采用TurboTune技术的经济高效的解决方案

 

③：CB系列

在必须具备工艺可靠性的情况下，CB射频发生器采用我们经过半导体生产验证的固态设计，提供精确且可重复的功率控制，为您的最关键的工艺提供超稳定可靠的射频功率。

 

特点和优点

 

固定频率的多样化选择：13.56至60MHz

功率范围从600W到5.0kW

S-Technology提供超稳定的输出

增强等离子体稳定性，实现最佳工艺环境

改进的射频控制可实现功率重复性

稳健的设计可实现高加工工具正常运行时间

 

④：CLB系列

CLB3000系列融合了我们CB3000平台的所有创新。CLB发电机专门设计用于低频和中频应用，提供增强的精度和可重复的功率输送。

 

特点和优点

 

标准功率版本：600W、1.25kW、3.0kW或200W至10kW的可配置功率选项

宽低频至中频固定频率——20kHz至2MHz

增强的供电精度

高度灵活性的平台支持广泛的中低频应用

用于过程控制的超稳定调节射频输出

拥有成本低

 

⑤：RF匹配网络

XP功率阻抗匹配网络采用我们独特的高速调谐算法设计，即使在高“Q”负载下也能实现精确的匹配调谐。控制电路快速、准确、可靠地将输入阻抗调整为50欧姆，以响应过程中负载特性的变化。

 

特点和优点

 

宽功率范围从50W到10kW

宽阻抗范围，可覆盖不同应用

直流偏置和射频VP-P检测器电路

定制以适合所有类型的腔体

调整过程中的运行到运行和机组到机组的可重复性确保了更严格的过程控制

通过快速调整和等离子体稳定时间提高工具生产率

 

德国FuG Elektronik 射频电源，提供最高水平的可靠性和可重复性